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专利名称：用于沉积膜的方法和设备专利类型：发明专利
发明人：弗拉基米尔·布洛维奇,陈江龙,康纳尔·弗朗西斯·马迪
根,马丁·A·斯楚米特
申请号：CN2012100808.9申请日：20080613公开号：CN102632710A公开日：20120815
摘要：本发明涉及用于沉积膜的方法和设备。所述设备包括：腔室，其用于容纳墨；排放喷嘴，所述排放喷嘴具有入口端口和出口端口，所述排放喷嘴在所述入口端口处接收来自所述腔室的一定量的墨，并从所述出口端口排放所述一定量的墨；以及分配器，所述分配器用于对从所述腔室到所述排放喷嘴的所述入口端口的所述一定量的墨进行计量，其中，所述腔室容纳呈液体形式的墨，所述呈液体形式的墨具有位于载液中的多个悬浮颗粒，并且所述排放喷嘴蒸发所述载液，并将基本上为固体的颗粒沉积在所述衬底上。
申请人：麻省理工学院
地址：美国麻萨诸塞州
国籍：US
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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