一种同步偏振相移干涉仪

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210487244.8 （22）申请日 2012.11.26

（71）申请人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

地址 130033 吉林春市东南湖大路3888号

（10）申请公布号 CN102944169A

（43）申请公布日 2013.02.27

（72）发明人 艾华;杨鹏;曹艳波

（74）专利代理机构 长春菁华专利商标代理事务所

代理人 张伟

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种同步偏振相移干涉仪

（57）摘要

本发明涉及一种同步偏振相移干涉仪，以

HeNe激光器作为线偏振相干光源，包括：携带了标准镜和待测镜相位信息的参考光和测量光，分别被所述偏振分光棱镜反射和透射后合束到同一光路中，在该光路上分别依次设有1/4波片和分束棱镜；光束可被所述消偏振分束棱镜分为等幅值的两部分，分束后的两光路上分别设有偏振分光棱镜；光束经过所述偏振分光棱镜后的光路上分别设有图像采集装置。本发明的同步偏振相移

干涉仪，使用波片和偏振棱镜结构，通过采用偏振光干涉，可同一时刻获得相位依次相差π/2的四幅干涉图，可消除气流和环境振动对测量的影响，可应用于光学系统现场检验，复杂恶劣环境的光学检验，并能实现连续动态测量。

法律状态

法律状态公告日

2013-02-27 2013-02-27 2013-03-27 2013-03-27 2015-08-19 2015-08-19 2018-01-12

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

权利要求说明书

一种同步偏振相移干涉仪的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

一种同步偏振相移干涉仪的说明书内容是....请下载后查看