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SU8200场发射扫描电镜技术说明文件
一、二次电子分辨率：
0.8 nm (加速电压15 kV，工作距离4mm)
1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5mm)(减速模式)
以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样〔蒸金磁带样品，蒸金碳样品〕
二、放大倍率：
低倍模式：20 到 2k 高倍模式：100 到 1000k
三、电子光学：
1.
电子：
冷场发射电子〔带有柔性flash功能〕 2.
加速电压: 0.5 到 30 kV
着陆电压: 0.01到 2 kV 3.
透镜系统
三级电磁透镜系统 4.
物镜光阑
四孔可调光阑(置加热自清洁功能) 5.
扫描线圈
二级电磁式偏转线圈〔高倍模式〕 一级电磁式偏转线圈〔低倍模式〕 6.
消像散器
八级电磁系统〔X，Y〕 7.
探测器：
低位〔Lower〕、高位〔Upper〕、和顶位〔Top〕三种探测器进展二次电子/背散射电子的接收
能谱系统 (选配) 8.
束闸
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电磁型 9.
电位移：
12 m (工作距离8 mm)
注意：工作距离改变时，电位移围会改变
四、样品室和样品台：
1. 样品台控制： 五轴马达台
2. 可移动围和样品尺寸：
X Y Z T R 样品尺寸 SU8220 0 ~ 50 mm 0 ~ 50 mm 1.5 ~ 30 mm SU8230 0 ~ 110 mm 0 ~ 110 mm 1.5 ~ 40 mm -5 ~ 70° 0 ~ 360° 最大样品尺寸〔直径〕 150 mm
3.
可安装样品高度
SU8220 样品最大直径 26 mm 75 mm 100 mm 150 mm
样品最大高度 17 mm 8 mm 6 mm 2 mm SU8230/SU8240 样品最大直径 26 mm 75 mm 125 mm 150 mm 样品最大高度 24 mm 15 mm 12 mm 8 mm SU8240 0 ~ 110 mm 0 ~ 80 mm 1.5 ~ 40 mm - . word.zl-
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4. 换样
预抽室 5.
样品台控制：
图形界面控制
自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能
五、显示系统
1.
用户界面
电脑显示器上的图形用户界面 2.
电脑
操作系统：微软Windows 7 专业版〔32位〕
操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法〔标配轨迹球，或选配操纵杆〕 3.
显示器
24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器〔屏幕：1,920×1,200像素〕 4.
扫描模式：
二维图像显示 选区模式 点分析模式
平均浓度分析模式 图像显示模式
大屏显示模式 (1280 960) 单屏显示模式 (800 600) 双屏同时显示模式 (800 600) 四屏同时显示模式 (0 480) 选区显示模式〔图像调整时使用〕 5.
电子光学对中：
电子束对中
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光阑对中 像散对中 低倍对中 6.
扫描模式
积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图
荷电抑制扫描(CS扫描) 7.
扫描速度
TV：两级扫描速度〔Rapid1～Rapid2〕 快扫：两级扫描速度〔Fast1～Fast2〕 慢扫：七级扫描速度〔Slow1～Slow7〕 CS扫描：七级扫描速度〔CSS1～CSS7〕 选区扫描 8.
自动调节功能：
ABCC (自动亮度/比照度调节)，自动聚焦 9.
信号和图像处理功能：
通过积分，图像的信噪比提高
桢积分〔最大积分数量：1,024〕〔TV和快扫模式〕彩色图像显示
两种颜色混合图像显示〔实时〕 伪彩图像显示〔保存图像〕 存储图像处理
•渐变转换 •Gamma 调节 •多重滤波处理
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10. 图像存储：
图像存储尺寸：0 480，800600，1,280960，2,5601,920，5,1203,840像素 保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG 11. 图像打印 自由布局打印功能 12. 保存数据图像的处理
图像管理和处理(SEM Data Manager) ：
•图片数据库管理 •缩略图显示 •多种图片处理功能 13. 其他功能：
束闸功能〔图像冻结时〕 光栅旋转/倾斜补偿
测量功能 (实时图像或存储图像)
参数显示 (照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间) 参数条被底：透明、黑色
数据输入和标注〔圆，矩形，箭头，尺寸线〕 14. 外部设备接口： USB 接口 网卡接口
15. X射线分析功能扫描模式：
点扫描 面扫描
DBC接口〔选配〕
六、真空系统
1.
真空控制：
完全自动气动阀系统 2.
真空泵：
离子泵：60 L/s 1, 20 L/s 2磁悬浮分子泵：300 L/min 1〔主抽气〕机械泵
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＊ 为减轻污染，推荐使用干泵 3.
真空量规：
全量程量规，皮拉宁规两个〔控制真空系统〕，宁规一个 4.
真空度：
电子： ﹤10-8 Pa 样品室： ﹤10-4 Pa 5.
样品交换室：
六寸预抽室
七、保护措施
断电保护、断水保护、漏气保护
八、循环水
冷却水循环
流速：1.0～1.5 L/min 〔冷却物镜〕 水压：50～100kPa
水温：10 to 20 C〔10分钟最大可变化0.5度〕
九、防污染措施
液氮冷阱
十、SU8200系列扫描电镜〔SU8220,SU8230,SU8240〕
主机 ......................................................................... 1 显示单元 ................................................................ 1 机械泵 .................................................................... 1 空压机 .................................................................... 1 标配专用工具 ....................................................... 1 套 耗材及配件 ........................................................... 1 套 操作手册 ................................................................ 1 套
十一、尺寸及重量
长
宽
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高重量
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主机〔SU8220〕990 主机〔SU8230〕990
8501,710 mm665 kg 850
1,745 mm740 kg
主机〔SU8240〕9908501,745 mm745 kg
显示单元 1,120 1,100 1,200mm275 Kg 空压机 210420 减震器
200
十二、主要选项附件
探测器： 顶探头过滤器
YAG型BSE探测器〔SU8220/ SU8230/SU8240〕 扫透探测器〔SU8220/ SU8230/SU8240〕
半导体型BSE探测器〔SU8220/ SU8230/SU8240〕视频放大单元 光电倍增单元 法拉第杯 能谱
CD测量功能： 实时CD测量功能
已保存图像的CD测量功能〔图像管理选项〕 打印机〔用户自配〕 外部设备控制： DBC(外部信号扫描) 外部通讯接口 键盘/鼠标 通用功能 其他： 冷却循环水 压缩机 EDX系统
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160 mm40 kg
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