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专利名称:屏蔽板以及测定装置专利类型:发明专利发明人:中村共则
申请号:CN201680030413.1申请日:20160524公开号:CN107615025A公开日:20180119
摘要:屏蔽板是半导体器件的温度的非接触测定所涉及的屏蔽板,具备能够调整温度的基材,位于基材的一侧的黑体面的热放射量大于位于黑体面的相反侧的反射面的热放射量,黑体面是放出红外线的黑体面。
申请人:浜松光子学株式会社
地址:日本静冈县
国籍:JP
代理机构:北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人:杨琦
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