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专利名称：一种两轴MEMS陀螺仪专利类型：发明专利发明人：邹波,王辉,郑青龙申请号：CN201610744480.1申请日：20160827公开号：CN107782299A公开日：20180309
摘要：本发明公开了一种两轴MEMS陀螺仪，包括对称设置于锚点左右两侧且位于X轴方向上的一组X轴质量块，以及对称设置于所述锚点上下两侧且位于Y轴方向上的一组Y轴质量块；所述X轴质量块、所述Y轴质量块以及所述锚点之间通过若干根弹簧梁相连。上述两轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴和Y轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
申请人：深迪半导体(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼A栋306室
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：罗满
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