复合结构的差动电容传感器定极板及其制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610537282.8 （22）申请日 2016.07.10

（71）申请人 武汉地震科学仪器研究院有限公司

地址 437100 湖北省咸宁市咸安区长江工业园旗鼓大道11号

（10）申请公布号 CN105987659A

（43）申请公布日 2016.10.05

（72）发明人 张黎;李树德;张道忠;蔡庆福;吴涛;张慧华 （74）专利代理机构 武汉宇晨专利事务所

代理人 黄瑞棠

（51）Int.CI

G01B7/02;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

复合结构的差动电容传感器定极板及其制作方法

（57）摘要

本发明公开了一种复合结构的差动电容传

感器定极板及其制作方法，涉及一种差动电容传感器的极板结构。定极板由基板（1）、电容镀层（2）、屏蔽镀层（3）和导电斜面（4）组成；在基板（1）的正面设置有电容镀层（2），在基板（1）的背面设置有屏蔽镀层（3），在基板（1）和电容镀层（2）的左端面设置有导电斜面（4）。该复合结构使电容传感器结构简单，机械

稳定性极好，在不同环境下能稳定地工作，适用于高精度电容位移传感器。

法律状态

法律状态公告日

2016-10-05 2016-10-05 2016-10-26 2016-10-26 2016-11-09 2016-11-09 2019-04-30

法律状态信息

公开 公开

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开 公开

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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