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专利名称：涡轮分子泵专利类型：发明专利发明人：筒井慎吾
申请号：CN201410334765.9申请日：20140711公开号：CN104421171A公开日：20150318
摘要：本发明提供一种涡轮分子泵，所述涡轮分子泵防止含有铁、铬的零件因处理气体而腐蚀，且不使含有铁、铬的金属粒子倒流到真空室。本发明对气体接触部实施镀镍，所述气体接触部即比从真空排气上游侧数起第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的处理气体所接触的区域。
申请人：株式会社岛津制作所
地址：日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
国籍：JP
代理机构：北京中原华和知识产权代理有限责任公司
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