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一种石英晶体的激光刻蚀加工方法[发明专利]

来源:测品娱乐
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种石英晶体的激光刻蚀加工方法专利类型:发明专利

发明人:王作羽,叶林,周伟平,郑,崔巍,睢建平,段友峰,刘

小光,牛磊

申请号:CN201610018285.0申请日:20160112公开号:CN105522281A公开日:20160427

摘要:本发明公开一种石英晶体的激光刻蚀加工方法,具体包括如下步骤:选择激光、准备控制软件、设计加工图纸、激光刻蚀、加工后处理和检测,同时,结合对各步骤条件的限定,设计出了一种加工石英晶体的方法,该加工方法可有效的将石英晶体加工成各种形状,且可对石英晶体进行减薄加工,减薄后的石英晶体厚度薄,对应的基频频率高,且加工后的石英晶体强度好,该加工方法简单,加工精度高,对石英晶体加工的尺寸精度可控制在±5μm内。

申请人:北京无线电计量测试研究所

地址:100854 北京市海淀区142信箱408分箱

国籍:CN

代理机构:北京正理专利代理有限公司

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