二〇一 ——二〇一 学年 第 二 学期 《精密超精密加工技术》试卷 班级或专业： 研究生
一 试题（每题10分）
1 什么是超精密加工？超精密加工的两个基本原则是什么？
2 超精密加工机床主轴设计的要求与设计原则是什么？主要采用何种材料及工艺过程，为什么？
3 画图说明扫描隧道显微镜工作的原理？
4 超精密加工主要控制的环境因素有哪些？说明对超精密车间如何控制粉尘环境。
5 工程陶瓷塑性区磨削的原理是什么？实现的基本条件如何？
6 画图说明ELID磨削的基本原理，实现该技术应保障的条件是什么？ 7 画图说明磁力研磨的原理？设计一种在CA6140 机床上实现内孔磁力研磨的方案图，并说明工作原理。
8 画图简要说明平面化学机械抛光的原理？ 9 画图简要说明LIGA工艺的原理。 10 画图说明什么是柔性铰链，设计一种利用压电陶瓷驱动实现平面二维运动的工作台？
二 要求：
（1）必须完成；（2）必须手写回答，回答问题要图文并貌；（3）按顺序回答；（4）封面写好学号与名字；（5）开卷考试。
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