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专利名称：一种光干涉气体浓度传感器系统专利类型：发明专利
发明人：李恩,梁自泽,龙腾,谭民申请号：CN201610901835.3申请日：20161017公开号：CN1065028A公开日：20170510
摘要：本发明公开了一种光干涉气体浓度传感器系统，包括参考气室、采样气室、第一光源、第二光源、平面镜、第一折光棱镜、第二折光棱镜。参考气室和采样气室各有一个矩形气室和一个梯形气室。第一光源或者第二光源分时发光，分别经过矩形气室和梯形气室进行全量程高精度测量，光源发出的光线经聚光镜会聚后以45°角入射到背面镀有全反射膜的平面镜，平面镜将光线分成平行的两束光，两束光穿过采样气室和参考气室，然后分别经折光棱镜反射后同时穿过矩形参考气室，最后光线穿过补偿棱镜后到达平面镜重新汇合成一束光，在光电探测元件处产生干涉条纹。根据光电探测元件的光强，测得待测气体浓度。
申请人：中国科学院自动化研究所
地址：100190 北京市海淀区中关村东路95号
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：钟文芳
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