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专利名称：一种静电吸盘的防腐蚀方法专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN2018112235.X申请日：20181019公开号：CN111081517A公开日：20200428
摘要：本发明提供了一种静电吸盘的防腐蚀方法，其为防止活性自由基对静电吸盘的腐蚀，所述方法为于静电吸盘上的通道中通入惰性气体。本发明还提供了一种等离子体处理装置的腔室清洁方法。本发明提供的方法能够有效解决静电吸盘的黏着层易被高活性自由基腐蚀的问题，使静电吸盘能够保持良好的导热功能，制得晶片的良率可得到明显提高，而且，本发明的方法无需使用挡控片，工艺简便，成本低廉，不会产生额外的污染，防护效果好，等离子体腔室及静电吸盘的使用寿命均可大幅延长。
申请人：长鑫存储技术有限公司
地址：230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
国籍：CN
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