一种光纤法珀高温压力传感器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610317815.1 （22）申请日 2016.05.16 （71）申请人 中北大学

地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

（10）申请公布号 CN105806543A

（43）申请公布日 2016.07.27

（72）发明人 贾平岗;熊继军;梁庭;洪应平;陈晓勇;房国成;梁昊;曹群 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

G01L11/02;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种光纤法珀高温压力传感器

（57）摘要

本发明公开了一种光纤法珀高温压力传感

器，包括传感头、光纤、玻璃管，所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片，玻璃基底底面设有一空腔，单抛硅片安装在空腔内，且底面与硅膜片的上顶面相连，硅膜片下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底顶面中部设有一圆形凸台，所述圆形凸台的中心处设有一通孔，所述玻璃管套接在光纤外，且玻璃管的一端

插入通孔与传感器、光纤实现固接，确保腔体处于密封真空环境。本发明耐高温、成本低廉，结构微小，并具有光纤珐珀传感器精度高，抗电磁干扰等的优点。

法律状态

法律状态公告日

2016-07-27 2016-07-27 2016-08-24 2016-08-24 2019-11-22

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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