附：各类污染等级对照表 ISO 4406 (1993) 26/23 25/23 23/20 21/18 20/18 20/17 20/16 19/16 18/15 17/14 16/13 15/12 14/12 14/11 13/10 12/9 11/8 10/8 10/7 1ml中10μm以上粒数 MIL STD NAS 1638 MOOG (1963) 6 5 4 3 2 1 0 1246A（1967） (19) 140000 85000 14000 45000 24000 23000 1400 1200 580 280 140 70 40 35 14 9 5 3 2.3 1000 700 500 300 200 100 12 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 10/6 9/6 8/5 7/5 6/3 5/2 2/0.8 1.4 1.2 0.6 0.3 0.14 0.04 0.01 50 25 10 0 00
