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专利名称：一种制备多晶硅薄膜的方法专利类型：发明专利发明人：羊亿,罗云荣
申请号：CN2008102374.9申请日：20081230公开号：CN101481819A公开日：20090715
摘要：一种制备多晶硅薄膜的方法，其包括以下步骤：(1)将硅粉、无机溶胶与有机溶剂混合，搅拌均匀，形成混合物；(2)将第(1)步配制的硅粉、无机溶胶与有机溶剂的混合物利用丝网印刷或喷涂法在衬底上成膜，并在200℃～600℃温度下退火，退火时间为0.1h～3h。本发明工艺简单，成本低廉；成膜均匀性好，膜厚便于控制；所需晶化温度低，因而能耗低；衬底选择范围广；适用于大面积规模化流水线生产。
申请人：湖南师范大学
地址：410081 湖南沙市岳麓区河西二里半
国籍：CN
代理机构：长沙星耀专利事务所
代理人：宁星耀
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