（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201810376318.8 （22）申请日 2018.04.25
（71）申请人 通威太阳能(合肥)有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
（10）申请公布号 CN108597994A
（43）申请公布日 2018.09.28
（72）发明人 张冠纶;周丹;谢毅;谢泰宏;张忠文 （74）专利代理机构 昆明合众智信知识产权事务所
代理人 杨俊达
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种降低氧气使用量的磷吸杂扩散工艺
（57）摘要
本发明公开了一种降低氧气使用量的磷吸
杂扩散工艺，步骤(4)前氧化的具体步骤为：S1、时间为30—40s，氧气流量为1—2L/min；S2、时间为50—60s，氧气流量为2—2.5L/min；S3、时间为70—90s，氧气流量为2—3L/min；步骤(11)后氧化的具体步骤为：S1、时间为60—400s，氧气流量为0.5—0.8L/min；S2、时间为80—500s，氧气流量为0.8—1L/min；S3、时间为100—900s，氧气流量为1—2L/min。本发明制备
的硅片通过四探针测试的方块电阻在75—85Ω/□；后续的刻蚀、PECVD、丝印烧结等通过传统工艺完成，做出的电池片平均转换效率比传统工艺提升了0.2％以上，而且相对传统扩散工艺，该工艺可以有效的降低氧化过程中氧气的使用量，大大降低了工艺工业成本，十分值得推广。
法律状态
法律状态公告日
2018-09-28 2018-09-28 2018-09-28 2018-10-26 2018-10-26 2019-03-01
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的撤回法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的撤回
权利要求说明书
一种降低氧气使用量的磷吸杂扩散工艺的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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