一种检测设备[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号(10)申请公布号 CN 104359510 A(43)申请公布日 2015.02.18

(21)申请号 201410710687.8(22)申请日 2014.11.28

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

地址100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人张宸铭 简月圆 熊正平 崔缀奎

张柯 夏云青 崔辛超(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理

有限公司 11291

代理人黄志华(51)Int.Cl.

G01D 21/02(2006.01)

权利要求书2页 说明书6页 附图1页权利要求书2页 说明书6页 附图1页

(54)发明名称

一种检测设备(57)摘要

本发明涉及显示面板加工技术领域，公开了一种检测设备，包括入片区域、长边宏观检测区域、微观检测区域、转向区域、短边宏检测区域、取片区域、以及将待检测基板传送于各区域之间的基板传动装置；入片区域内设有第一调节装置；长边宏观检测区域设有第一检测装置；微观检测区域设有对第二检测装置；转向区域内设有第二调节装置；短边宏观检测区域设有第三检测装置；取片区域内设有对进入取片区域内的基板进行对位的对位装置。上述检测设备能够对显示面板生产过程中的基板进行在线宏观检测和微观检测，从而能够缩短对基板进行检测的时间，提高了该显示面板的生产效率。CN 104359510 A CN 104359510 A

权 利 要 求 书

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1.一种检测设备，其特征在于，包括入片区域、长边宏观检测区域、微观检测区域、转向区域、短边宏检测区域、取片区域、以及将待检测基板传送于各区域之间的基板传动装置；其中：

所述入片区域内设有对进入所述入片区域中的基板进行位置矫正、以使基板能够按照设定姿态进入所述长边宏观检测区域的第一调节装置；

所述长边宏观检测区域设有对进入所述长边宏观检测区域内基板的长边进行宏观检测的第一检测装置；

所述微观检测区域设有对进入微观检测区域的基板进行微观检测的第二检测装置；所述转向区域内设有将进入所述转向区域内的基板进行转向对位、以使基板能够按设定方位进入短边宏观检测区域的第二调节装置；

所述短边宏观检测区域设有对进入短边宏观检测区域的基板的短边进行宏观检测的第三检测装置；

所述取片区域内设有对进入取片区域内的基板进行对位的对位装置。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述入片区域、长边宏观检测区域、微观检测区域、转向区域、短边检测区域、以及取片区域依次排列以形成生产线结构，所述基板传动装置包括两条并列设置的滑轨，每一条滑轨上设有可沿所述滑轨长度方向滑动的基板衔取装置。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，每一个所述基板衔取装置包括：一个与所述滑轨滑动配合的滑块，所述滑块设有真空吸孔；为所述滑块设有的真空吸孔进行抽真空的抽真空装置；驱动所述滑块沿所述滑轨移动的驱动装置。4.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述基板传动装置还包括位于所述入片区域的第一传动滚轮、位于所述转向区域的第二传动滚轮、以及位于取片区域的第三传动滚轮。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一调节装置包括：可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台；

限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。6.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述长边宏观检测区域内的第一检测装置包括：

基台，基台设有长度方向与滑轨延伸方向垂直的检测间隙；沿所述检测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机，各所述宏观图像采集摄像机的采集方向朝向所述检测间隙。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述微观检测区域内的第二检测装置包括：

基台；

长度方向与滑轨长度方向垂直的导轨；安装于所述导轨、且可沿所述导轨的长度方向滑动的微观摄像机。8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，沿所述滑轨的延伸方向，所述导轨在

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权 利 要 求 书

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所述基台载面上的投影位于所述基台中部。

9.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述基台上设有多个吹气孔和吸气孔、以使所述基板能够平衡地悬浮于所述微观检测区域。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述短边宏观检测区域内的第三检测装置包括：

基台，基台设有长度方向与滑轨延伸方向垂直的检测间隙；沿检所述测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机，每一个宏观图像采集摄像机的采集方向朝向所述检测间隙。

11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二调节装置包括：可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台；

限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。12.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述取片区域设有的对位装置包括限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。

13.根据权利要求1-12任一项所述的检测设备，其特征在于，所述取片区域还设有可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降的支撑针脚。

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说 明 书一种检测设备

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技术领域

[0001]

本发明涉及显示面板加工技术领域，特别涉及一种检测设备。

背景技术

在显示面板加工技术领域，对基板加工不良的检测是保证显示面板产品质量的一个重要环节。

[0003] 对显示面板的基板进行检测时包括宏观检测和微观检测；其中，宏观检测用于对基板生产过程中基板上产生不良的区域进行确定，微观检测用于对宏观检测中检测到的不良区域中的不良进行微观检测。[0004] 但是，现有技术中采用的检测设备不能实现对基板在线进行宏观检测和微观检测，从而导致对基板的检测时间较长，同时，还影响了之后该产品生产的正常进行。

[0002]

发明内容

[0005] 本发明提供一种检测设备，该检测设备能够对显示面板生产过程中的基板进行在线宏观检测和微观检测，从而能够缩短对基板进行检测的时间，提高了该显示面板的生产效率。

[0006] 为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：[0007] 一种检测设备，包括入片区域、长边宏观检测区域、微观检测区域、转向区域、短边宏检测区域、取片区域、以及将待检测基板传送于各区域之间的基板传动装置；其中：[0008] 所述入片区域内设有对进入所述入片区域中的基板进行位置矫正、以使基板能够按照设定姿态进入所述长边宏观检测区域的第一调节装置；

[0009] 所述长边宏观检测区域设有对进入所述长边宏观检测区域内基板的长边进行宏观检测的第一检测装置；

[0010] 所述微观检测区域设有对进入微观检测区域的基板进行微观检测的第二检测装置；

[0011] 所述转向区域内设有将进入所述转向区域内的基板进行转向对位、以使基板能够按设定方位进入短边宏观检测区域的第二调节装置；

[0012] 所述短边宏观检测区域设有对进入短边宏观检测区域的基板的短边进行宏观检测的第三检测装置；

[0013] 所述取片区域内设有对进入取片区域内的基板进行对位的对位装置。[0014] 上述检测设备中，入片区域与显示面板中基板的产线连接，入片区域设置的第一调节装置可以对产线传输到入片区域的基板的姿态进行位置矫正，从而使基板传送装置将基板按照设定的姿态传送至长边宏观检测区域内，并通过长边宏观检测区域中的第一检测装置对基板的长边进行宏观检测，当第一检测装置检测到基板上存在不良区域时，第一检测装置获得到基板上该不良的位置信息，然后基板传送装置将该基板传送至微观检测区域，微观检测区域内设有的第二检测装置对长边宏观检测区域内第一检测装置确定的不良

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说 明 书

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位置的不良进行微观检测；然后，基板传送装置将基板传送至转向区域，转向区域内的第二调节装置对基板进行转向定位，进而使基板能够按设定方位进入短边宏观检测区域，基板进入到短边宏观检测区域中后，由短边宏观检测区域内的第三检测装置对基板的短边进行宏观检测，当第三检测装置检测到基板上存在不良区域时，获得短边上具有的不良区域的位置信息，然后基板传送装置将基板传送至微观检测区域，对基板短边上具有的不良区域进行微观检测，检测完成后，基板传动装置将基板传送至取片区域，然后取片区域具有的对位装置对取片区域内的基板进行对位，然后由机械手等检测完成后的基板自取片区域取走。

[0015] 因此，上述检测设备能够对显示面板生产过程中的基板进行在线宏观检测和微观检测，从而能够缩短对基板进行检测的时间，提高了该显示面板的生产效率。[0016] 优选地，所述入片区域、长边宏观检测区域、微观检测区域、转向区域、短边检测区域、以及取片区域依次排列以形成生产线结构，所述基板传动装置包括两条并列设置的滑轨，每一条滑轨上设有可沿所述滑轨长度方向滑动的基板衔取装置。[0017] 优选地，每一个所述基板衔取装置包括：[0018] 一个与所述滑轨滑动配合的滑块，所述滑块设有真空吸孔；[0019] 为所述滑块设有的真空吸孔进行抽真空的抽真空装置；[0020] 驱动所述滑块沿所述滑轨移动的驱动装置。[0021] 优选地，所述基板传动装置还包括位于所述入片区域的第一传动滚轮、位于所述转向区域的第二传动滚轮、以及位于取片区域的第三传动滚轮。[0022] 优选地，所述第一调节装置包括：

[0023] 可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台；

[0024] 限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。[0025] 优选地，所述长边宏观检测区域内的第一检测装置包括：[0026] 基台，基台设有长度方向与滑轨延伸方向垂直的检测间隙；[0027] 沿所述检测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机，各所述宏观图像采集摄像机的采集方向朝向所述检测间隙。[0028] 优选地，所述微观检测区域内的第二检测装置包括：[0029] 基台；

[0030] 长度方向与滑轨长度方向垂直的导轨；[0031] 安装于所述导轨、且可沿所述导轨的长度方向滑动的微观摄像机。[0032] 优选地，沿所述滑轨的延伸方向，所述导轨在所述基台载面上的投影位于所述基台中部。

[0033] 优选地，所述基台上设有多个吹气孔和吸气孔、以使所述基板能够平衡地悬浮于所述微观检测区域。[0034] 优选地，所述短边宏观检测区域内的第三检测装置包括：[0035] 基台，基台设有长度方向与滑轨延伸方向垂直的检测间隙；[0036] 沿检所述测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机，每一个宏观图像采集摄像机的采集方向朝向所述检测间隙。

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说 明 书

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优选地，所述第二调节装置包括：

[0038] 可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台；

[0039] 限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。[0040] 优选地，所述取片区域设有的对位装置包括限定所述基板边缘位置的边缘限定机构。

优选地，所述取片区域还设有可沿垂直于两个所述滑轨延伸方向所在平面升降的支撑针脚。

[0041]

附图说明

[0042]

图1为本发明一种实施例提供的检测设备的结构示意图。

具体实施方式

[0043] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0044] 如图1所示，本发明提供的检测设备包括入片区域A、长边宏观检测区域B、微观检测区域C、转向区域D、短边宏检测区域E、取片区域F、以及将待检测基板传送于各区域之间的基板传动装置；其中：

[0045] 入片区域A内设有对进入入片区域A中的基板进行位置矫正、以使基板能够按照设定姿态进入长边宏观检测区域的第一调节装置1；

[0046] 长边宏观检测区域B设有对进入长边宏观检测区域B内基板的长边进行宏观检测的第一检测装置31；

[0047] 微观检测区域C设有对进入微观检测区域C的基板进行微观检测的第二检测装置41；

[0048] 转向区域D内设有将进入转向区域D内的基板进行转向对位、以使基板能够按设定方位进入短边宏观检测区域E的第二调节装置5；

[0049] 短边宏观检测区域E设有对进入短边宏观检测区域E的基板的短边进行宏观检测的第三检测装置61；

取片区域F内设有对进入取片区域F内的基板进行对位的对位装置71。

[0051] 上述检测设备中，入片区域A与显示面板中基板的产线连接，入片区域A设置的第一调节装置1可以对产线传输到入片区域A的基板的姿态进行位置矫正，从而使基板传送装置将基板按照设定的姿态传送至长边宏观检测区域B内，并通过长边宏观检测区域B中的第一检测装置31对基板的长边进行宏观检测，当第一检测装置31检测到基板上存在不良区域时，第一检测装置31获得到基板上该不良的位置信息，然后基板传送装置将该基板传送至微观检测区域C，微观检测区域C内设有的第二检测装置41对长边宏观检测区域B内第一检测装置31确定的不良位置的不良进行微观检测；然后，基板传送装置将基板传送至转向区域D，转向区域D内的第二调节装置5对基板进行转向定位，进而使基板能够按设

[0050]

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定方位进入短边宏观检测区域E，基板进入到短边宏观检测区域E中后，由短边宏观检测区域E内的第三检测装置61对基板的短边进行宏观检测，当第三检测装置61检测到基板上存在不良区域时，获得短边上具有的不良区域的位置信息，然后基板传送装置将基板传送至微观检测区域C，对基板短边上具有的不良区域进行微观检测，检测完成后，基板传动装置将基板传送至取片区域F，然后取片区域F具有的对位装置71对取片区域F内的基板进行对位，然后由机械手等检测完成后的基板自取片区域F取走。[0052] 因此，上述检测设备能够对显示面板生产过程中的基板进行在线宏观检测和微观检测，从而能够缩短对基板进行检测的时间，提高了该显示面板的生产效率。[0053] 一种优选实施方式中，如图1所示，为了优化上述检测设备的结构进而提高检测设备的检测效率，上述检测设备中，入片区域A、长边宏观检测区域B、微观检测区域C、转向区域D、短边检测区域E、以及取片区域F依次排列以形成生产线结构，基板传动装置包括两条并列设置的滑轨22，每一条滑轨22上设有可沿滑轨22长度方向滑动的基板衔取装置21。检测设备具有生产线结构，进而能够更好地与基板的生产线配合，并且，能够提高基板传动装置将基板在各区域之间的传送速率，从而提高对基板进行宏观微观检测的速率，提高产能。

[0054] 优选地，每一个基板衔取装置21包括：[0055] 一个与滑轨滑动配合的滑块，滑块设有真空吸孔211；[0056] 为滑块设有的真空吸孔211进行抽真空的抽真空装置；[0057] 驱动滑块沿滑轨移动的驱动装置。[0058] 一种优选实施方式中，如图1所示，上述基板衔取装置还包括位于入片区域A的第一传动滚轮23、位于转向区域D的第二传动滚轮24、以及位于取片区域F的第三传动滚轮25。

[0059] 第一传动滚轮23能够对基板进行传送，且能够对基板位于两个滑块之间的部位进行支撑，进而提高上述基板传送装置对在入片区域A内的基板进行传送时的稳定性；同理，第二传动滚轮24能够对基板进行传送，且能够对基板位于两个滑块之间的部位进行支撑，进而提高上述基板传送装置对在转向区域D内的基板进行传送时的稳定性；第三传动滚轮25能够对基板进行传送，且能够对基板位于两个滑块之间的部位进行支撑，进而提高上述基板传送装置对在取片区域F内的基板进行传送时的稳定性。[0060] 如图1所示，一种优选实施方式中，第一调节装置1包括：[0061] 可沿垂直于两个滑轨22延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个滑轨22延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台11；

[0062] 限定基板边缘位置的边缘限定机构12。

[0063] 转台11升起后能够使基板脱离基板传送装置和边缘限位机构，因此，转台11升起后进行旋转，进而能够实现对基板方向的调节，然后转台11下降，此时，边缘限定机构12能够对基板的边缘位置进行限定，进而确定基板边缘的位置，从而确定基板的姿态。[00] 一种优选实施方式中，如图1所示，长边宏观检测区域B内的第一检测装置31包括：

[0065] 基台613，基台613设有长度方向与滑轨22延伸方向垂直的检测间隙(图中未示出)；

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沿检测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机312，各宏观图像采集摄像机312的采集方向朝向检测间隙。[0067] 具体地，第一检测装置31还可以包括一个支架311，各宏观图像采集摄像机312可以安装在该支架311上。[0068] 请继续参考图1，一种优选实施方式中，微观检测区域C内的第二检测装置41包括：

[0069] 基台413；

[0070] 长度方向与滑轨22长度方向垂直的导轨411；[0071] 安装于导轨411、且可沿导轨411的长度方向滑动的微观摄像机412。[0072] 具体地，沿滑轨22的延伸方向，导轨411在基台413载面上的投影位于基台413中部。

[0073] 更具体地，基台413上设有多个平衡气孔4131，如吹气孔和吸气孔，以使基板能够平衡地悬浮于微观检测区域C中。平衡气孔4131的作用是通过吹气以及吸气对基板位于基台413上方的部分悬浮，从而减小基板在经过基台413时与基台413之间的摩擦，减小基板在经过基台413时对基板的损伤。[0074] 一种优选实施方式中，如图1所示，短边宏观检测区域E内的第三检测装置61包括：

[0075] 基台613，基台613设有长度方向与滑轨22延伸方向垂直的检测间隙；[0076] 沿检测间隙长度方向排列的多个宏观图像采集摄像机612，每一个宏观图像采集摄像机612的采集方向朝向检测间隙。[0077] 具体地，上述第三检测装置61还包括一个支架611，各宏观图像采集摄像机612安装在支架611上。

[0078] 一种优选实施方式中，如图1所示，第一检测装置31具有的基台313上也可以设有平衡气孔3131，从而减小基板经过第一检测装置31的基台313时与基台313之间的摩擦，同时，第三检测装置61具有的基台613上也可以设有平衡气孔6131，从而减小基板经过第三检测装置61的基台613时与基台613之间的摩擦。[0079] 更优选地，当长边宏观检测区域B与微观检测区域C相邻时，第一检测装置31的基台313还可以与第二检测装置41的基台413为一体结构。[0080] 请继续参考图1，一种优选实施方式中，转向区域D中具有的第二调节装置5包括：

[0081] 可沿垂直于两个滑轨22延伸方向所在平面升降、且可绕垂直于两个滑轨22延伸方向所在平面的枢转轴旋转的转台51；

[0082] 限定基板边缘位置的边缘限定机构52。

[0083] 第二调节装置5的工作原理与第一调节装置1相同，这里不再赘述。[0084] 一种优选实施方式中，如图1所示，取片区域F中，取片区域F设有的对位装置71具体包括限定基板边缘位置的边缘限定机构。[0085] 当然，为了减小机械手臂等将基板自取片区域F取走时对基板的损伤，优选地，如图1所示，取片区域F还设有可沿垂直于两个滑轨22延伸方向所在平面升降的支撑针脚72。支撑针脚72可以将取片区域F内的基板顶起，从而使基板的上下两侧具有足够大的间

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隙满足机械手臂的夹取。[0086] 显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

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说 明 书 附 图

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图1

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