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专利名称：基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器专利类型：发明专利
发明人：孙云飞,胡伏原,班建民申请号：CN201810249093.X申请日：20180325公开号：CN1084377A公开日：20180904
摘要：本发明公开了基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器，其主要包括绝缘基底，绝缘基底周向均布有多个石墨烯薄膜，各个石墨烯薄膜两端分别设置有电极，所述绝缘基底被一盖体封闭，盖体和绝缘基底之间形成密封腔，所述密封腔内填充有气体，所述气体为CO或NO，所述盖体包括顶部和侧部，所述盖体的顶部为具有一定弹性的材料制成，所述盖体的顶部设置有石墨烯应变传感器薄膜，所述石墨烯应变传感器薄膜的两端设置有电极，所述盖体的侧部设置有石墨烯温度传感器薄膜，所述石墨烯温度传感器薄膜的两端设置有电极。本发明采用立体架构来布置多种传感器，有效节约了空间。且灵敏度较高。适用范围广。
申请人：苏州科技大学
地址：215000 江苏省苏州市高新区科锐路1号
国籍：CN
代理机构：北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：陈娟
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