（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201310612744.4 （22）申请日 2013.11.26
（71）申请人 上海华力微电子有限公司
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
（10）申请公布号 CN1036850B
（43）申请公布日 2016.06.08
（72）发明人 倪亮
（74）专利代理机构 上海申新律师事务所
代理人 竺路玲
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
用FIB在AFP样品上打标记定位的方法
（57）摘要
本发明提供了一种用FIB在AFP样品
上打标记定位的方法，通过在样品上设定参照点；将样品处理到金属层，在参照点处通过FIB打标记；将样品处理到接触层，通过AFP扫描样品，得出样品标记的位置，并根据参照点找到目标单位。本发明的技术方案简单有效、定位精准，降低了AFP定点测试样品的制备难度，对纳米探针和device不会造成损伤，对AFP定点测试样品重复单元（如SRAM区域）有非常重要的意义。 法律状态
法律状态公告日
2014-03-19 2014-04-16 2016-06-08
公开
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
用FIB在AFP样品上打标记定位的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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